NIKON尼康曝光機(jī)用UV燈電氣材料部品

NIKON尼康曝光機(jī)用UV燈電氣材料部品

NOWDATAナウデータ株式會社

ULEDN-101（一體型）

內(nèi)藏控制器的一體型類型。

1 .新構(gòu)思的裝置內(nèi)設(shè)置單元

以照射頭、放熱、控制器為一體的裝置內(nèi)設(shè)置的照射單元，通過來自序列商的信號來控制。因?yàn)樵诜艧崂w維部設(shè)置了安裝孔，所以可以簡單地安裝機(jī)器人和外殼等。

2 .高功率照射

4 , 000 mW /以上（※1），7 , 000 mW /以上（※2）照射10 , 000 mW /以上高功率紫外線（365 nm）輸出。

因?yàn)樵讵?dú)自開發(fā)的角型放熱沖浪中設(shè)置了LED，所以放熱效率非常好，即使是30分鐘的全力點(diǎn)燈也有UV輸出

幾乎不衰減。

3 .低成本

使用LED的壽命，假設(shè)連續(xù)點(diǎn)燈的估計(jì)時(shí)間為30 , 000小時(shí)。比以往的燈方式有7.5倍以上。另外，照明方式需要連續(xù)點(diǎn)燈，但是在LED的情況下，成為實(shí)質(zhì)的點(diǎn)燈時(shí)間，由于點(diǎn)燈頻率更加長壽命，跑步成本能大幅度削減。

4 .獨(dú)自放熱結(jié)構(gòu)的照射頭

由于獨(dú)自開發(fā)的基板墊結(jié)構(gòu)和鋁縱型放熱狀的使用，放熱效果非常好，所以用照射輸出使用30分鐘以上也沒有照射強(qiáng)度變化。非常穩(wěn)定的照射是可能的。