ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理KMMR-34，VBR-70，XY-114M，X-34/34，WSR-80
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ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理
ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學(xué)代理
ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10
規(guī)格:
X?Y平行移動：±10mm
精度刻度：0.01m/1div
安裝法蘭：ICF70
玫瑰內(nèi)徑：40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
X機械軸
X-70/70-M
規(guī)格
X方向移動：±12.5mm（線程馬達(dá)驅(qū)動）、法蘭面間110mm、分辨率0.04μm/pulse、帶限位開關(guān)
安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT
焊接貝羅：外徑φ60mm內(nèi)徑φ使用40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機KMMR-34
本產(chǎn)品是可用于導(dǎo)入真空中安裝的機器的旋轉(zhuǎn)運動的超高真空區(qū)域的旋轉(zhuǎn)導(dǎo)入機。
規(guī)格
連接法蘭：ICF34
前端軸直徑：6mm
引進軸長度：法蘭面～35L
容許扭矩：4kg/f（磁耦合）
重量：0.55kg
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
回轉(zhuǎn)導(dǎo)入機VBR-70
規(guī)格
使用焊接回流10 deg/1刻度
傳遞扭矩2N?m手動
連接法蘭ICF70FH
旋轉(zhuǎn)棒φ8（SUS304）帶限位器
約820g
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
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