SD-10油擴(kuò)散泵SHINKOSEIKI神港精機(jī)油擴(kuò)散泵SD-3,SD-4,SD-6,SD-8,SD-10,SD-14,SD-16,SD-22SD-4H,SD-6H,SD-8H,SD-10H
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SD-10油擴(kuò)散泵SHINKOSEIKI神港精機(jī)
SD-10油擴(kuò)散泵SHINKOSEIKI神港精機(jī)
油擴(kuò)散泵
SD-3,SD-4,SD-6,SD-8,SD-10,SD-14,SD-16,SD-22
SD-4H,SD-6H,SD-8H,SD-10H
真空排氣單元
SMB-200,SMB-C06,SMB-C15,SMB-C25,SMB-5000
油擴(kuò)散泵【共通規(guī)格】
?工作油為Neo Back SX（SH-704）或Lion A
?如果工作油是DC-705，到達(dá)壓力為4×10-6Pa，電力將增加20%～
45%
?油蒸汽的逆流量為7×10-7～2×10-8g/min?cm2以下
【特長】
?排氣速度大
?油蒸汽的逆流少
?加熱器的壽命長（采用鋁鑄加熱器）
?可獲得高的允許背壓（側(cè)執(zhí)行器型）
油擴(kuò)散泵的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的擴(kuò)散器在泵內(nèi)產(chǎn)生高速氣流，將氣體擴(kuò)散至泵內(nèi)壁面，然后被油膜捕集并被抽出泵。
油擴(kuò)散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4~10-5帕，工作壓力范圍為10-1~10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。
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