正規(guī)銷售hitachi日立掃描電子顯微鏡只有45厘米寬的緊湊型設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)，使性能大幅提升。
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正規(guī)銷售hitachi日立掃描電子顯微鏡
正規(guī)銷售hitachi日立掃描電子顯微鏡
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） | |
| 加速電壓 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率） | |
| 低真空模式 | 真空范圍：6 ～ 100 Pa | |
| 電子槍 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
| 樣品臺 | 3-軸自動馬達(dá)臺 X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～ ＋90° | |
| 大樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| 大樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm | |
| 探測器選配 |
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