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正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡電子顯微鏡

簡要描述：

正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能

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胡經(jīng)理

正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
與現(xiàn)有機型相比分辨率提高了20％左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉

項目			Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率			0.8 nm （加速電壓15 kV） 1.1 nm （著陸電壓1 kV）*3	0.7 nm（加速電壓 15 kV） 0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓			0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率			20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺	樣品臺控制		3軸馬達臺（可選5軸馬達臺）	5軸馬達驅(qū)動
	移動范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
		Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
		R	360°
		T	-5～70°
		Z	1.5～30 mm		1.5～40 mm
	再現(xiàn)性		-	-	-	±0.5 µm以下含±0.5 µm

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