MEGATORR公司蝶泳閥門MR30ITV000SN銷售

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非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通過閥部0～90°可變來進(jìn)行真空壓力控制的節(jié)流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應(yīng)，通過與AP系列控制器/電容計(jì)并用，可以在半導(dǎo)體等工藝中獲得高速響應(yīng)、真空壓力控制。

寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空壓力控制中，隨著過程的多樣化，壓力控制范圍也呈現(xiàn)出多樣化的趨勢(shì)，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣，隨著過程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發(fā)的是這個(gè)寬帶閥門。

寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，還能加熱到200℃。

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