MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

MEGATORR閥門壓力控制器AP-420

壓力控制器AP-420

AP系列是電容計(jì)量器（壓力真空計(jì)）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應(yīng)/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，確保半導(dǎo)體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應(yīng)答、高再現(xiàn)性的真空壓力控制。也可以通過前面板進(jìn)行設(shè)定，操作性非常容易。另外，由于CE標(biāo)志、RoHS對應(yīng)產(chǎn)品，被世界上所有產(chǎn)業(yè)的量產(chǎn)設(shè)備所使用

壓力控制器AP-100R

Model AP-100R將制造裝置中的真空室進(jìn)行真空排氣時，通過改變閥門電導(dǎo)，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。

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